Обработка наночастицами оксида индия-олова на гибких полиэтилентерефталатных подложках с помощью лазера.

Аннотация А [CO. sub. 2]-
Повышение проводимости оксидированного индий-оловянного покрытия путем лазерной обработки (ITO)
Наночастицы на гибких подложках из полиэтиленэфира (ПЭТ).
Проводимость и прозрачность [CO. sub. 2]-лазер-
В контексте применения в качестве прозрачного электрода была проведена характеризация покрытия из обработанных наночастиц ITO.
Кроме того, была изучена стабильность проводимости при колебательном изгибе.
Соотношение сопротивления 0,12 [OMEGA]
Получено Cm [CO. sub. 2]-
Лазерное лечение проводится без повреждения ПЭТ-пленки.
Увеличение проводимости можно объяснить образованием легкого спекающего перешейка.
Для пленки толщиной 3 урна толщина составляет 400 [[OMEGA]/[? ? ]]
Обеспечивается передача сигнала в пределах 80% видимого диапазона.
Стабильность проводимости [CO. sub. 2]-лазера-
Исследование воздействия изгибающего напряжения на покрытие из наночастиц ITO проводилось с использованием специально сконструированного устройства для приложения различных осциллирующих изгибающих нагрузок.
Для пластин с радиусом изгиба 10 мм сопротивление пластины не превышает 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]
После 300 изгибов
По сравнению с коммерческим покрытием ITO, [CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO демонстрирует значительную стабильность при колебательном изгибе.
Ключевые слова: оксид олова (ITO)
Прозрачные электроды имеют решающее значение для таких дисплейных приложений, как сенсорные экраны, фонарики и органические светодиоды (OLED).
Оксид олова в качестве покрытия (ITO)
Благодаря превосходному сочетанию низких сопротивлений, он используется практически исключительно (1-3 x [10⁻⁴][OMEGA]см).
Высокая прозрачность (
Толщина пленки при 90% нм > 100)
В пределах видимого диапазона. (1)
Для гибких приложений отображения и рулонных пленок.
При обработке рулонов, которой уделяется все больше внимания, в качестве подложечного материала необходимо использовать полимерную пленку.
Новейшая технология нанесения ITO на полимерную подложку – это технология физического осаждения, например, распыление (2)
Или испарение. (3)
Однако эти технологии очень дороги из-за вакуумного процесса, дополнительной конструкции и связанных с этим отходов дорогостоящего ITO.
Методы влажного осаждения, такие как золь-гель метод (4-6)
Или покрытие, диспергированное наночастицами (6-8).
Стоимость внедрения упрощенного процесса
Снизьте потенциальный риск, избегая вакуумных условий и обеспечивая возможность прямой печати.
Однако для улучшения проводимости покрытия из наночастиц ITO необходимо проводить отжиг при высокой температуре.
Низкая термическая стабильность полимерных подложек ограничивает температуру отжига.
Для повышения проводимости наночастиц, обеспечивающей покрытие без термического повреждения подложки, необходимо применять новые методы обработки.
В литературе редко описывается нанесение наночастиц ITO на гибкую полимерную подложку, причем основное внимание уделяется связующим веществам, отверждаемым УФ-излучением. Аль-Дахуди и др. (9)
Было изучено покрытие наночастицами ITO. 3-
Глицидоксипропилтриметоксисилан (GPTS) и 3-
Метакрилоксипропилтриметодологический силан (MPTS)
Добавлены в качестве связующих веществ для УФ-отверждения.
Полиметилметакрилат (ПММА)
И ПК (ПК)
Базовый слой наносится с помощью вращательных, погружных и распылительных процессов.
Соотношение сопротивления 0,25 [OMEGA]
См, что соответствует стабильному сопротивлению чипа 5000 [[OMEGA]/[? ? ]]
Для слоев толщиной 570 нм используется УФ-облучение, а затем низкотемпературное облучение.
Термообработка при высоких температурах на воздухе и в восстановительной атмосфере. Пуэц и др. (10) описали низкотемпературную термообработку.
Технология термоотверждения для нанесения наночастиц ITO на подложки из плексигласа, поликарбоната и ПЭТ с использованием УФ-излучения.
В дисперсионную систему были добавлены MPTS и УФ-световые затравки.
Соотношение сопротивления 0,1 [ОМЕГА]
Значение Cm было получено после термической обработки в введенной атмосфере.
В дальнейших исследованиях Пуэц и др. (11)
Исследование прямой вогнутой печати для производства прозрачных изделий.
Покрытие из проводящих наночастиц на основе вышеупомянутой модифицированной дисперсии наночастиц ITO.
В данном исследовании [CO. sub. 2]-
Проводящие свойства покрытия из наночастиц ITO на подложке из ПЭТ были улучшены за счет лазерной обработки.
Компания Aim производит покрытие из наночастиц ITO на гибкой ПЭТ-подложке, обеспечивающее характеристики, необходимые для прозрачных гибких электродов в фотоэлектрических приложениях.
Квадратное сопротивление ниже 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]
Цель состоит в том, чтобы обеспечить передачу сигнала в видимом диапазоне не менее 80%.
Кроме того, что касается применения в качестве гибкого электрода, стабильность проводимости [CO. sub. 2]-лазера-
Было проведено исследование покрытия из наночастиц ITO, обработанного при осциллирующем изгибе, и проведено сравнение с коммерческим покрытием ITO, нанесенным методом магнетронного распыления с использованием специального устройства, описанного Конигером и др. (12)
В качестве экспериментального материала в качестве базового материала была выбрана майларовая пленка Hostaphan GN 4600 производства Mitsubishi из полиэстера толщиной 96 мкм.
ПЭТ-пленка обеспечивает высокую стабильность размеров, необходимую для применения в печатной электронике.
Кроме того, поверхность очень гладкая и способствует образованию равномерного покрытия. (13)
В качестве раствора для покрытия используется этанольная дисперсия наночастиц ITO с содержанием твердых веществ 35.
Использование ежемесячного % (веса) компании.
Среднее арифметическое объема частиц
Согласно измерениям методом динамического рассеяния света, распределение размеров составляет около 100 нм.
Сначала была подготовлена ​​пленка, а затем ПЭТ-пленка была обработана плазмой для улучшения ее влагостойкости.
Использовалась плазменная камера Plasma 4 от компании ilmvacmbh.
Плазма образуется под действием переменного напряжения частотой 50 кГц при температуре 1 мбар.
Плазменная обработка проводилась в воздушной среде в течение 30 секунд.
Затем полимерная подложка была покрыта с помощью ракельного ножа, используя устройство Erichsen Coatmaster 509 MC.
Лопасть катушки толщиной 50 [микро]
М используется для достижения сухой толщины 3 мкм.
Закрепите ПЭТ-пленку на нагретой стеклянной пластине с помощью скотча.
Скорость вращения катушки установлена ​​на уровне 10 мм/с, а пластина нагревается до 60 градусов.
Быстрое испарение этанола.
В этих условиях было получено равномерное покрытие.
Покрытие наночастиц ITO при 200 градусах [отжига]
Для улучшения адгезии к ПЭТ-пленке образец C выдерживают на воздухе в течение 20 минут.
Лазерное лечение для лазерного лечения, серия Synrad 48 [CO. sub. 2]-
Использовался лазерный модуль с длиной волны 10,6 мкм.
Лазерный луч расширяется с помощью телескопа с коэффициентом увеличения 1:2, направляется гальванометрическим сканером SK1020 из сканирующей лаборатории и фокусируется покрытой ZnSe F-тета линзой. F-
Линза Theta корректирует зрительные отклонения благодаря своей особой конструкции.
Диаметр лазерного пятна составляет 0,65 мм.
При скорости сканирования от 50 мм/с до 5 м/с лазерный луч гаснет.
На нижнем слое обработка структуры осуществляется путем заполнения выбранной части плоскости обработки параллельными лазерными линиями.
Минимальное расстояние штриховки, также известное как расстояние Хэтча, составляет 0,01 мм.
Энергию, излучаемую лазером, можно рассчитать как постоянную площадь подводимой энергии [E. sub. a]= [[P. sub. L]/[[v. sub. S]* [h. sub. S]]]
Параметры лазера: мощность лазера, [P. sub. L]
Скорость сканирования, [v. sub. S]
Расстояние от люка, [ч. суб. с.].
Изображение морфологии пленки из наночастиц ITO, полученное с помощью сканирующей электронной микроскопии (FE-).
Сканирующий электронный микроскоп SEM s4 800 от Hitachi.
Определение толщины слоя покрытия микроскопа с фокусировкой белого света (WL-CF). Микроскоп WL-CF\"[mu]
Была использована программа 'Surfing' от Nanofocus'.
Квадратное сопротивление покрытия составляет четыре
Настройка метода точек в Jishili SMU 236.
Коэффициент сопротивления рассчитывается путем умножения сопротивления на определенную толщину слоя.
Пропускание инфракрасного излучения измерялось с помощью инфракрасной спектроскопии.
Спектрометр Nikko SpectrometerMagna, инфракрасный, 750 нм.
Для характеристики пропускания в видимом диапазоне использовался УФ/ВИС-спектрометр Lambda 19 компании Perkin Elmer.
Проводимость при колебательном изгибе с использованием устройства, подробно описанного Конигером и др., изучала стабильность проводимости покрытия из наночастиц ITO при изгибе. (12)
Прибор способен измерять сопротивление проводящего покрытия при колебательном изгибе.
В данном исследовании для изучения проводимости покрытия ITO/PVP при колебательном изгибе использовалось приложение растягивающего напряжения к покрытию (рис. 1).
Рисунок 1 немного]
Полимерная пленка удерживается четырьмя катушками и обладает гибкостью, позволяющей фиксировать ее положение с помощью двух пружин с обеих сторон.
Центральная часть образца пленки изогнута с помощью стержня, который может перемещаться вверх и вниз.
Сердечник установлен на стержне, приводимом в движение удлинителем.
Образец изгибается вверх и вниз, поэтому радиус изгиба определяется его геометрией.
Амплитуда изгиба, связанная с прочностью на изгиб, может изменяться из-за смещения удлинителя.
Количество оборотов удлинителя регулирует частоту колебаний изгибающей нагрузки.
Электрический контакт между токопроводящим покрытием и измерительным прибором обеспечивается токопроводящим клеем, который сваривает провода измерительного прибора между собой.
Для всех измерений в данном исследовании частота равна 0.
Выберите частоту 1 Гц, а амплитуду изгиба установите на 20 мм, чтобы обеспечить полный изгиб вокруг стержня сердечника.
Результаты исследований переноса и обсуждение характеристик наночастиц ITO и пленок PET при температуре 10 °C. 6 [мкм]
Во-первых, пропускание наночастиц ITO и ПЭТ-пленки на длине волны лазера (10,6 мкм).
Проведено исследование (рис. 2).
Рисунок 2:
Наночастицы ITO (
Наночастицы ITO в гранулах бромида калия)
Коэффициент пропускания 1% показан на длине волны 10,6 мкм.
M используемого лазера (рис. 2а).
Наночастицы ITO поглощают большую часть энергии лазера, тем самым снижая риск термического повреждения ПЭТ-пленок.
Пленка ПЭТ была показана в соотношении 10:25% (6 мкм) (рис. 2б).
Это близко к максимальному значению и помогает снизить энергозатраты на ПЭТ-пленку.
Особенно высокая светопропускаемость ПЭТ-пленок вблизи длины волны 10,6 мкм.
N показывает, что ,[CO. sub. 2]-
Лазер является подходящим инструментом для термообработки ITO на ПЭТ-пленке. [CO. sub. 2]-
Первое исследование лазерной обработки наночастиц ITO на ПЭТ-пленках показывает, что после удаления наночастиц ITO с ПЭТ-пленки CO. sub. 2]-
Применяется лазерная терапия со всеми параметрами лазера.
Причина этого эффекта заключается в том, что из-за кратковременного нагрева подложки лазерным излучением ПЭТ-пленка плохо размягчается, что является необходимым условием для хорошей адгезии покрытия из наночастиц ITO к ПЭТ-подложке.
Следовательно, при 200 [градусах отжига]
C за 20 минут до [CO. sub. 2]-
Лазерная обработка улучшает адгезию покрытия из наночастиц ITO к гибким ПЭТ-пленкам.
Цель состоит в том, чтобы, используя различные энергетические параметры для лазерной обработки отжигаемого покрытия из наночастиц ITO, достичь минимально возможного удельного сопротивления без термического повреждения ПЭТ-пленки.
Исследования показали, что наилучшие результаты достигаются при максимальной скорости сканирования 4.
5 м/с, расстояние между штрихами 0,05 мм.
Высокая скорость сканирования позволяет избежать термического повреждения ПЭТ-пленки, вызванного длительным и сфокусированным воздействием энергии.
Небольшое расстояние между линиями штриховки является результатом равномерного подвода энергии. На рис.
3. Постройте график зависимости удельного сопротивления покрытия из наночастиц ITO на ПЭТ-пленке от энергии, подводимой на единицу площади.
Рисунок 3 немного]
Более 30 энергетических затрат [кДж/[м. суп. 2]]
Сопротивление платы ниже 1000 Омега/[? ? ]]
Это не вызовет термического повреждения ПЭТ-пленки.
При увеличении энергетических инвестиций до 40 кДж/м²
Сопротивление Heet упало до 400 [[OMEGA]/[? ? ]]
Было замечено, что это значение примерно в 30 раз ниже, чем удельное сопротивление покрытия из наночастиц ITO, полученных только термическим отжигом.
Это соответствует удельному сопротивлению 0,12 [ОМЕГА]
3 см толщина пленки мкм.
[Причины повышения проводимости покрытия из наночастиц ITO CO. sub. 2]-
С точки зрения [формы], лазерное лечение становится очевидным CO. sub. 2]-лазер-
Обработанные наночастицы ITO. На рис. 4, [CO. sub. 2]-лазер-
По сравнению с покрытием из наночастиц ITO, подвергнутым отжигу при 200 °C.
Рисунок 4 слегка]
По сравнению с покрытиями из наночастиц ITO, которые отжигаются только при температуре 200 градусов Цельсия.
C. Наблюдалось незначительное образование спекающей перемычки после обработки [CO. sub. 2]-лазером (30-50 [кДж/[m. sup. 2]]).
Наноматериалы на основе ITO.
Кроме того, было обнаружено, что размер частиц незначительно увеличился, и частицы приобрели округлую форму.
Образование перемычки спекания можно объяснить диффузией по поверхности и границам зерен, вызванной подводом энергии, что уменьшает рассеяние электронов на границах зерен и, таким образом, доказывает текучесть и проводимость носителей заряда соответственно.
Примерно 45 [энергии] кДж/[м. суп. 2]]
Наблюдается незначительное увеличение сопротивления пленки, которое можно объяснить образованием трещин.
Это становится более очевидным при более высоких энергетических затратах (рис. 5).
Рисунок 5. Слегка]
Из-за несоответствия между высоким уровнем подводимой энергии и коэффициентом теплового расширения ПЭТ-пленки и покрытия из наночастиц ITO, внутреннее напряжение, вызванное повышением температуры, может привести к наблюдаемому образованию стента.
Энергия > 60 [кДж/[м. суп. 2]]
Была обнаружена термическая деградация ПЭТ-пленки (рис. 6).
В результате изменений поверхности значительно возрастает сопротивление пленки.
Рисунок 6 немного]
Для [3] слоев толщиной менее [микро]
M, энергетические затраты ниже 40 кДж/[m. sup. 2]]
Из-за меньшего поглощения лазерного излучения покрытием ITO произошло термическое повреждение ПЭТ-пленки.
Следовательно, имеется как минимум 3 слоя толщиной [микро].
Чтобы избежать термического повреждения ПЭТ-пленки, необходимо выбрать значение m.
Однако исследование показывает, что при 30-40 [кДж/м²] [CO₂]-
Лазерная обработка покрытия из наночастиц ITO на ПЭТ-пленке значительно улучшает проводимость без термического повреждения пленки.
Толщина слоя составляет 3 микрона.
М, квадратное сопротивление 400 [[OMEGA]/[? ? ]]
Реализовано, что соответствует удельному сопротивлению 0,12 Омега-см.
Однако для определения [CO. sub. 2]- необходимо изучить его применение в качестве прозрачного электрода.
В видимом диапазоне лазерная обработка влияет на пропускание света.
Влияние оптических свойств на [CO. sub. 2]-
На рис. 7 показана лазерная обработка пропускания отожженного покрытия из наночастиц ITO в видимом диапазоне.
Рисунок 7. Слегка]
Непокрытая ПЭТ-пленка демонстрирует пропускание в видимом диапазоне около 85%. Отожженная 3-[микро]
Наногранулированный слой ITO толщиной в М снижает пропускание до 80–83%. [CO. sub. 2]-
Лазерная обработка приводит к дальнейшему снижению пропускания, которое становится более выраженным при более высоких значениях энергии.
Затраченная энергия составляет 35 кДж/м².
Энергетический ввод 46 с максимальной передачей 81 % [кДж/[м. суп. 2]]
Максимальная передача инфекции наблюдалась на уровне 75%.
По мере увеличения подводимой энергии снижение эффективности передачи может быть объяснено различными факторами.
Образование трещин при более чем 40 [энергетических затратах], как описано выше, кДж/[м. суп. 2]]
Это приведет к распространению света.
Кроме того, рассеяние, вызванное меньшим размером частиц и плотностью пленки, также может привести к незначительному уменьшению.
Кроме того, более 45 [энергетических затрат] кДж/[м. суп. 2]]
Желтый цвет обусловлен незначительной термической деградацией ПЭТ-пленки под воздействием лазерного излучения.
Однако энергозатраты составляют 30-35 кДж/м².
Можно получить покрытие из наночастиц ITO на ПЭТ-пленке, которое демонстрирует значение менее 1000 [[OMEGA]/[? ? ]].
И пропускает свет в видимом диапазоне не менее чем на 80%, поэтому при использовании в качестве прозрачного электрода обеспечиваются требуемые характеристики по сопротивлению пленки и прозрачности.
Применение проводимости при колебательном изгибе относительно гибкого прозрачного электрода [стабильность проводимости]CO. sub. 2]-лазер-
Было изучено воздействие колебаний изгиба на покрытие из наночастиц.
Цель состоит в определении радиуса изгиба, который не превышает требуемого значения 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]. На рис.
8. Квадратное сопротивление от a до 3 [мкм]м [CO. sub. 2]-лазер-
На графике показана зависимость покрытия из наночастиц TreatedITO от периода изгиба при различных радиусах изгиба.
Была применена схема натяжения, описанная в разделе «Проводимость при колебательном изгибе» в экспериментальной части.
Кривая, отмеченная символом, показывает сопротивление пластины изгибу.
Пунктирная линия показывает начальное сопротивление одного элемента.
Рисунок 8:
С уменьшением радиуса изгиба сопротивление пластины изгибу значительно возрастает.
Радиус изгиба составляет 3 мм.
Увеличьте квадратное сопротивление с 700 до 4000 [[OMEGA]/[? ? ]]
После 300 циклов изгиба.
Сопротивление пленки остается ниже 10 мм даже при радиусе изгиба 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]
После 300 циклов изгиба.
Меньший радиус изгиба приводит к большему растягивающему напряжению в покрытии, что вызывает более заметную трещину (12) (рис. 9а и 9б)
Это приводит к большему увеличению сопротивления.
Рисунок 9 опущен. Кроме того, [CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO сравнивали с коммерческим покрытием ITO, полученным методом магнетронного напыления, и обсуждали стабильность проводимости при колебательном изгибе. На рис.
10. Квадратное сопротивление отображается как функция периода изгиба коммерческого покрытия ITO, нанесенного методом магнетронного напыления (125-[мкм] ПЭТ-пленка; ~60 [[OMEGA]/[? ? ]];
пластик Cadillac) и [CO. sub. 2]-лазер-
Обработка покрытия из 3 наночастиц толщиной [мкм].
Для исследования использовался радиус изгиба 10 мм.
Рисунок 10 немного]
По сравнению с коммерческим покрытием ITO, CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO демонстрирует более высокую стабильность проводимости при колебательном изгибе.
В случае нанесения покрытия методом магнетронного распыления ITO наблюдалось значительное увеличение сопротивления сразу после нескольких циклов изгиба.
Сопротивление пластины при растяжении увеличилось с 60 [[OMEGA]/[? ? ]] до 15[[OMEGA]/[? ? ]]
После 50 циклов
В противоположность этому, квадратное сопротивление лазера после отжига
Покрытие из обработанных наночастиц ITO увеличилось с 700 до 900 [[OMEGA]/[? ? ]]
После 50 циклов
Различную механическую стабильность проводимости при осциллирующем изгибе можно интерпретировать как особенность морфологии покрытия.
В отличие от пористого [CO. sub. 2]-лазера-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO (рис. 11а)
Из-за своей плотной структуры покрытие из ITO очень хрупкое (рис. 11б).
Это способствует образованию трещин.
Рисунок 11 опущен]
Конигер и др. подробно сравнили образование трещин в покрытиях из напыленного ITO и покрытиях из наночастиц ITO. (13)
Исследование стабильности проводимости при изгибе показывает, что [CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO демонстрирует более высокую стабильность проводимости при колебательном изгибе, что выгодно с точки зрения их использования в качестве гибких электродов в фотоэлектрических приложениях.
Вывод данного исследования заключается в том, что CO. sub. 2]-
Лазерная обработка — это новый метод повышения проводимости наноматериалов ITO на гибких ПЭТ-подложках. Последующее исследование...
Наночастицы ITO на ПЭТ-пленке были обработаны [предварительным термическим отжигом]CO. sub. 2]-
Лазер значительно улучшает проводимость, не повреждая при этом ПЭТ-подложку.
Квадратное сопротивление 400 [[OMEGA]/[? ? ]]
Толщина слоя 3 [мкм] (
Соотношение сопротивлений 0,12 [ОМЕГА]см)
Достигнутый результат менее чем в 30 раз превосходит результат нанесения покрытия из наночастиц ITO только путем отжига.
Увеличение проводимости можно объяснить небольшим образованием перемычки спекания, что уменьшает рассеяние на границах зерен и, следовательно, повышает проводимость.
Для толщины 3 слоев [микро]
До 35 [м и энергетических затрат] кДж/[м. суп. 2]]
Прозрачность [CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO на ПЭТ-пленке составляет около 80%. Таким образом, ITO-
Наночастицы на ПЭТ-пленках могут быть получены с сопротивлением пленки менее 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]
Пропускание в видимом диапазоне составляет 80%.
Кроме того, стабильность проводимости [CO. sub. 2]-лазера-
Было проведено исследование покрытия из наночастиц ITO, обработанного при осциллирующем изгибе, и проведено сравнение с коммерческим покрытием ITO, нанесенным методом магнетронного напыления.
Покрытие из наночастиц ITO показывает, что благодаря образованию трещин сопротивление листа изгибу возрастает с увеличением числа циклов.
Радиус изгиба составляет 10 мм, что не превышает удельного сопротивления 1000 [[OMEGA]/[? ? ]]
После цикла гибки требуется 300.
По сравнению с коммерческим покрытием ITO, [CO. sub. 2]-лазер-
Покрытие из обработанных наночастиц ITO демонстрирует более высокую стабильность проводимости при осциллирующем изгибе, что можно интерпретировать как низкую хрупкость благодаря его более тонкой структуре.
В целом, [CO. sub. 2]-
Лазерная обработка наночастиц ITO открывает большие возможности для повышения проводимости покрытия из наночастиц ITO на гибкой ПЭТ-подложке.
Этот метод позволяет создавать гибкие прозрачные электроды на основе наночастиц ITO, наносимых методом печати с использованием современных технологий.
Было показано, что можно изготавливать гибкие проводящие пленки, отвечающие требованиям к проводимости и прозрачности простых фотоэлектрических устройств, таких как светодиодные лампы и сенсорные экраны.
Авторы благодарят Немецкий фонд исследований за финансовую поддержку, а компания Evonik Degussa GmbH предоставляет дисперсию наночастиц ITO, которая поставляется компанией Mitsubishi в виде полиэфирной пленки. Ссылки (1. )
Пейн, Д.К., Йоом, Х.
«Прозрачные оксидные материалы и технологии».
В: Кроуфорд, врач общей практики (ред.)
Гибкий плоский дисплей, стр. 79-98.
Серия выставок дисплейных технологий Wiley в Нью-Йорке (2005)(2. )
Свойства пленок окисленного индия, легированного оловом, полученных Рэем С., Баннерджи Р., Басу Н., Батабьялом А.К., Баруа А.К., «методом ВЧ-распыления» J. Appl. Phys., 54 3497-3501 (1983). doi:10. 1063/1. 332415 (3. )
Hamberg, I, granqvisa, CG, \"испаренный Sn-легированный[In. sub. 2][O. sub. 3]
Пленка: основные оптические свойства и применение в энергетике
Эффективное окно. \" J. Appl. Phys. , 60 (11)R123-R159(1986). doi:10. 1063/1. 337534 (4. )
Ю, Д, Ю, В, Ван, Д, Цянь, Ю, «структура и оптика пленки оксида индия-олова со структурой алмазного песка, полученной методом золь-рефабрикации».
Гелевый метод, основанный на термической реакции растворителя.
«Solid Film, 419 166-172 (2002). doi:10. 1016/S0040-6090(02)00482-0 (5. )
Стойка, Т.Ф., Гартнер, М., Лосурдо, М., Теодореску, В., Бланшен, М.
Гелевые наночастицы многослойных пленок ITO.
Solid Film, 455-456 509-512 (2004). doi:10. 1016/j. tsf. 2003. 11. 251 (6. )Al-
Сравнительное исследование крупных и толстых участков, Н., Эгертер, Массачусетс, «Прозрачный проводящий [In. sub. 2][O. sub. 3]: Sn (ITO)»
Покрытие, состоящее из золя и взвешенных наночастиц.
\"Solid Film, 502 193-197(2006). doi:10. 1016/j. tsf. 2005. 07. 273 (7. )
Эдерт Дж., Хеслер П., Халтакер А., Никлассон Г.А., Гранквиса К.Г., «Окисленные пленки индия и олова из наночастиц».
«Твердая пленка 445199-206 (2003). doi:10. 1016/S0040-6090(03)01164-7 (8. )
Гебберт, К., Ноннингер, Р., Эгертер, М.А., Шмидт, Х., «влажные покрытия ATO и ITO с использованием кристаллических веществ, которые могут быть повторно диспергированы в растворе».
Твердая пленка, 35179-84 (1999). doi:10. 1016/S0040-6090(99)00209-6 (9. )Al-
Дхуди Н., Бишт Х., Гоберт С., Краевский Т., М.А., Эртер М.А., «Прозрачные проводящие, антистатические и антистатические анти-
Покрытия GlareCoatings на пластиковых подложках.
«Твердая пленка, 392 299-304(2001). doi:10. 1016/S0040-6090(01)01047-1 (10. )Пуэтц, Дж., Аль-
Дахуди, Н., Эгертер, М.А., «Обработка прозрачных проводящих покрытий из многоразовых кристаллических белковых наночастиц». «Adv. Eng. Mater.», 6 (9)733-737 (2004). doi:10. 1002/adem. 200400078 (11. )
Пуэц, Дж., Эгертер, М.А., «напрямую наносят рисунок из наночастиц оксида олова на полимерную пленку».
\"Solid Film, 516 (14)4495-4501 (2008). doi:10. 1016/j. tsf. 2007. 05. 086 (12. )
Кёнигер, Т., Мунстедт, Х., «Усовершенствованное оборудование для тестирования электрических свойств гибкого базового проводящего покрытия при колебательном изгибе: магнетронное окисление индий-олова и поли-3,4-
Этилдиоксиловый эфир. \" Meas. Sci. Technol. , 19 055709(2008). doi:10. 1088/0957-
0233/19/5/055709 (13. )
Покрытие Кёнигера, Т., Мунстедта, Х., «Оксид индия-олова на различных гибких полимерных подложках: влияние топографии поверхности и осциллирующего изгиба на электрические свойства». Журнал информационного общества дисплеев, 16 (4)559-568 (2008). doi:10. 1889/1. 2905043 [C]
FSCT и OCCA 2009 Т. Конигер ([? ? ]), И. Аль-Наими, Х.
Институт полимерных материалов им. Мюнштедта. 7, D-
91058 Эрланген, ГерманияПочта: Тобиас. koeniger@gmx. де Т. Рехтенвальд, Т. Фрик, М.
ООО «Лазерный центр Шмитт Байереш», Конрад-Цузе-ул. 2-6, Д-